Yarı iletken endüstrisinin hızlı gelişimiyle birlikte, endüstrinin ölçeği hızla artmış ve yarı iletken üretim ekipmanları hassasiyet ve karmaşıklık açısından sürekli olarak gelişmiştir. Seramikler, yüksek sertlik, yüksek elastik modül, yüksek aşınma direnci, yüksek yalıtım, korozyon direnci, düşük genleşme vb. avantajlara sahip oldukları için silikon parlatma makinesi, epitaksiyel/oksidasyon/difüzyon ısıl işlem ekipmanı, litografi makinesi, kaplama ekipmanı, yarı iletken aşındırma ekipmanı, iyon implantasyon makinesi ve diğer ekipmanların parçaları olarak kullanılabildiğinden, hassas seramik parçaların araştırma ve geliştirilmesi ve üretimi, yarı iletken endüstrisinin gelişimini doğrudan etkilemektedir. Bu nedenle, hazırlanmasına ilişkin teknik gereksinimler giderek artmaktadır.
Yüksek saflıkta alümina, %99,7-%99,9 alümina.
Yüksek mekanik dayanım, yüksek aşınma direnci, yüksek elektriksel yalıtım, yüksek kimyasal kararlılık, iyi ısı direnci ve korozyon direnci. Şu anda, seramik taşlama diskinin yarı iletken silikon levha taşlamasında kullanılması en üstün ve en gelişmiş taşlama yöntemidir. Kesilen silikon levhayı taşlamak için çift taraflı taşlama işlemi kullanılır ve taşlama işleminin (disk malzemesi, taşlama sıvısı, taşlama basıncı ve taşlama hızı vb.) iyileştirilmesiyle taşlanmış levhanın kalitesi artırılır. Özellikle, dökme demir plakalar yerine seramik plakaların kullanılması, levhanın ana yüzeyinde taşlamadan kaynaklanan izleri veya kirliliği önler, metal iyonlarının girişini azaltır, silikonun sonraki işlenmesini azaltabilir, sonraki işlem (korozyon) süresini kısaltabilir, üretim verimliliğini artırabilir ve silikon işleme kayıplarını azaltarak silikonun kullanımını büyük ölçüde iyileştirebilir.
Yüksek alümina gofret parlatma plakasıYarı iletken, petrol, kimya, fotovoltaik, sıvı kristal ve diğer endüstrilerde, örneğin mekanik parçalar, elektronik parçalar, mikrodalga indüksiyon diskleri, yalıtım malzemeleri ve diğer parçalar, yarı iletken cihazlar, vakum ekipmanları, sıvı kristal üretim ekipmanları ve diğer parçalar gibi alanlarda kullanılır. Büyük boyutlu ve yüksek saflıkta alümina seramikler, safir endüstrisinde ve yarı iletken çip endüstrisinde önemli uygulama değerine sahiptir. Safir ve yarı iletken silikon levhaların kimyasal mekanik parlatma (CMP) işlemi için önemli bir destek ve sarf malzemesidir. Büyük boyutlu ve yüksek saflıkta alümina seramikler ayrıca LCD için alümina altlık olarak da kullanılabilir.
Yayın tarihi: 27 Haz-2024